中国科大在InGaAs单光子探测芯片设计制造领域取得重要十分困难

近现代亚自然科学大学光学系统与光学系统工程系王亮客座教授课题组设计者并分离出的InGaAs单光子飞船ROM取得重大进展。该数据分析设计团队通过设计者钛—分布式布拉格反射器冗余单光子飞船ROM的光学系统可靠性，完成低于本征暗个数的单光子飞船ROM的全都自收纳化设计者与分离出，实现了单光子飞船ROM的全都投产，为解决发达国家适时的前沿亚科技问题立足于了重要一步。方面数据分析成果以“High performance InGaAs/InP single-photon avalanche diode using DBR-metal reflector and backside micro-lens”并作，在线刊载在电子工程技术领域的知名期刊Journal of Lightwave Technology上。

基于InGaAs材料的半导体单光子冰冻二极管（SPAD）具备单光子档次低灵敏度、短波红外红外线的人眼安全都和、大气层窗口红外线低于损耗、穿透雾霾、低于功耗、小规格、难于集成等优异特点。这些优点使 SPAD在量子信息技术、收纳被动的焦平面飞船、城市测绘、激光雷达等多个领域均发挥着前所未有的作用，具备极大的民用、商用以及军用价值。

王亮客座教授数据分析设计团队通过调整MOCVD的湿度、V/III比、掺杂浓度等发育参数实现低于缺陷密度和低掺杂清晰度的外延在结构上发育。在SPAD集成电路在结构上的基础上提出批评并设计者了新型的宽度谱（全都光纤红外线）全都反射镜，即钛—分布式布拉格反射镜用以提升SPADROM的光电渗入灵活性。数据分析设计团队所分离出的12μm窗口的低于暗个数SPAD，在湿度233 K及 10%的探测灵活性下具备127 Hz的超低于本征暗个数，比国外同类产品低于一个量级，拥有更优的集成电路可靠性，此ROM可满足量子通信等应用的单光子探测的使用需求并可替代采购集成电路。

图1（a）SPAD的集成电路在结构上图表（b）12μm窗口的超低于暗个数SPADROM及测试结果

近现代亚自然科学大学光学系统与光学系统工程系王亮客座教授为该篇文章的通讯创作者，博士数据分析生张博健为该篇文章的第一创作者。本项数据分析得到发达国家亚科技部、发达国家亚科技进步奖委和安徽省亚科技厅的筹集资金，也得到了北航物理学院、近现代电子亚科技集团第13数据分析所、北航微纳数据分析与制造中心、近现代亚科学院量子信息重点实验室的支持。

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